Terminit "massihävitusrelv" on kasutatud sellises tähenduses vähemalt aastast 1937, kui seda kasutati [[pommitaja]]te kirjeldamiseks. Tollel ajal tundusid need kõrgel lendavad hävituslennukid kui peatumatu hävitusjõud ning ohuna tsiviilisikutele, kes olid lahingurindelt eemal. [[Teine maailmasõda|Teisel maailmasõjal]] rünnati lennukitega linnu nagu [[Hamburg]] ja [[Tokyo]], kus suri kümneid tuhandeid ühe ööga.<ref name="wmdref"/>
Tavapäraste pommide hävitusvõimekust ei anna võrreldagi [[aatompomm]]i hävitusvõimekusega, mis lõhkes [[Hiroshima]] kohal. Aatompomm hävitas terve linna ning umbes 6600066 000 inimest said otsekohe surma. Aasta lõpuks oli [[kiiritus]]e mõju tõttu suurenenud hukkunute arv 140 000-ni. Külmasõja ajal [[Ameerika Ühendriigid]], [[Nõukogude Liit]] ja teised suurriigid ehitasid tuhandeid [[tuumapomm]]e, [[rakett]]e ning suurtükiväe laskemoonasid. Samal ajal valmistasid suurriigid keemia- ja biorelvi. Keemiarelvad sisaldasid spetsiaalseid vedelikke ning gaase, mis lämmutasid ohvreid, mürgitasid nende verd, kahjustasid nende nahka või kahjustasid närvisüsteemi.<ref name="wmdref"/>
[[Kloor]]igaasi kasutati [[esimene maailmasõda|Esimeses maailmasõjas]]. Veel on olemas ka bioloogilised relvad, mis sisaldavad looduslikke mürke, baktereid või viiruseid. Biorelv erineb keemia- ja tuumarelvadest, sest biorelva pole võimalik kiiresti tuvastada pärast relva kasutamist. On olemas vahendid, mis tuvastavad biorelva mõjuri, kuid need võtavad aega. Biorelva mõju pole ka koheseltkohe nähtav, sest nakatusednakkused vajavad aega, et tekitada kahju või haigust (inkubatsiooniperiood). Selleks ajaks, kui sümptomid hakkavad tekkima on tõenäoliselt paljud nakatanud ning alganud on haiguspuhang. Haiguspuhangu tekkimine on seega üheks tähtsaks tunnuseks, et kasutatud on biorelva.<ref name="wmdref">{{cite web|title=Introduction to Biological Weapons |url=http://fas.org/biosecurity/resource/bioweapons.htm|accessdate=25. mai 2015}}</ref> Neid relvi kasutati rahvarohketes alades, et saavutada maksimaalne efektiivsus. Biorelvade kasutamisele võis järgneda surmavate haiguste levik ([[Siberi katk]], [[kopsukatk]], [[rõuged]]). Biorelva pole tänapäeval kasutatud pealepärast seda, kui Jaapan levitas katkuga nakatanud täid [[Hiina]] aladele Teise maailmasõja ajal. Vaatamata sellele kardetakse, et biorelvi võidakse ikka kasutada, sest üldiselt on keemia- ja biorelva lihtne valmistada.<ref name="wmdref">{{cite web|title=Weapon of mass destruction (WMD) |url=http://www.britannica.com/EBchecked/topic/917314/weapon-of-mass-destruction-WMD|accessdate=21. mai 2015}}</ref>
