MEMS-ostsillaator
MEMS-ostsillaator on elektromehaanilise mikrosüsteemina valmistatud ostsillaatorlülitus, mille võnkesagedust määrav element – resonaator – on valmistatud polükristallilisest ränist. Tavaliselt kasutatava kvartsresonaatori asendamine polükristallränist resonaatoriga võimaldab paigutada kõik ostsillaatori komponendid integraallülitusena ühele pooljuhtkiibile.
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/7/70/MEMS_oscillator_chip.jpg/220px-MEMS_oscillator_chip.jpg)
ülal sagedusjaguri kiip
Vaadeldava polüräniresonaatori lineaarmõõtmed on 100 µm ringis, umbes sama palju kiibi pinda vajab ka ülejäänud elektroonikalülitus.
Korpuseta MEMS-ostsillaator on kasutusel näiteks nutitelefonis.