MEMS-ostsillaator

MEMS-ostsillaator on elektromehaanilise mikrosüsteemina valmistatud ostsillaatorlülitus, mille võnkesagedust määrav element – resonaator – on valmistatud polükristallilisest ränist. Tavaliselt kasutatava kvartsresonaatori asendamine polükristallränist resonaatoriga võimaldab paigutada kõik ostsillaatori komponendid integraallülitusena ühele pooljuhtkiibile.

MEMS-ostsillaatori kiip trükkplaadil (väljundsagedus 88,9 MHz, korpuse mõõtmed 7& × 5 mm);
ülal sagedusjaguri kiip

Vaadeldava polüräniresonaatori lineaarmõõtmed on 100 µm ringis, umbes sama palju kiibi pinda vajab ka ülejäänud elektroonikalülitus.

Korpuseta MEMS-ostsillaator on kasutusel näiteks nutitelefonis.

Vaata ka

• Elektromehaaniline mikrosüsteem