Terminit "massihävitusrelvadmassihävitusrelv" on kasutatud sellises tähenduses vähemalt aastast 1937, kui seda kasutati [[pommitaja]]te kirjeldamiseks. SellelTollel ajal tundusid need kõrgeltkõrgel lendavad hävituslennukid kui peatumatu hävitusjõunahävitusjõud ning ohuna tsiviilisikutele, kes olid lahingurindelt eemal. [[Teine maailmasõda|Teisel maailmasõjal]] rünnati lennukitega linnu nagu [[Hamburg]] ja [[Tokyo]], kus suri kümneid tuhandeid ühe ööga.<ref name="wmdref"/>
Tavapäraste pommide hävitusvõimekushävitusvõimekust ei olnudanna lähedalgivõrreldagi [[aatompomm]]i hävitusvõimekuselehävitusvõimekusega, mis lõhkes [[Hiroshima]] kohal. Aatompomm hävitas terve linna ning mõnedumbes 66000 inimest said otsekohe surma. Aasta lõpuks oli [[kiiritus]]e tagajärjelmõju tõttu suurenenud hukkunute hulkarv 140000-ni. Külmasõja ajal [[Ameerika Ühendriigid]], [[Nõukogude Liit]] ja teised suurriigid ehitasid tuhandeid [[tuumapomm]]e, [[rakett]]e ning suurtükiväe laskemoonalaskemoonasid. Samal ajal valmistasid suurriigid keemia- ja bioloogiarelvi. Keemiarelvad sisaldasid spetsiaalseid vedelikke ning gaase, mis lämmutasid ohvreid, mürgitasid nende verd, kahjustasid nende nahka või kahjustasid närvisüsteemi.<ref name="wmdref"/>
[[Kloor]]igaasi kasutati [[esimene maailmasõda|Esimeses maailmasõjas]]. BioloogiarelvadVeel on olemas ka bioloogiarelvad, mis sisaldavad looduslikke mürke või, baktereid, või viiruseid. Neid relvi kasutati rohkestirahvarohketes rahvastatudalades, et saavutada maksimaalne aladelefektiivsus. Bioloogiarelvade kasutaminekasutamisele võis tähendada suurtjärgneda surmavate haiguste levikutlevik (näiteks [[Siberi katk]], [[kopsukatk]], [[rõuged]]). Bioloogilist relva pole tänapäeval kasutatud peale seda, kui Jaapan levitas katkuga nakatanud täid [[Hiina]] aladele Teise maailmasõja ajal. Vaatamata sellele kardetakse, et bioloogilisi relvi võidakse ikka kasutada, sest üldiselt on keemia- ja bioloogiarelva lihtne valmistada.<ref name="wmdref">{{cite web|title=Weapon of mass destruction (WMD) |url=http://www.britannica.com/EBchecked/topic/917314/weapon-of-mass-destruction-WMD|accessdate=21. mai 2015}}</ref>
