Isoleeritud paisuga väljatransistor: erinevus redaktsioonide vahel
Eemaldatud sisu Lisatud sisu
P v7 |
P v8 |
||
64. rida:
* [[Adhesioon]] teiste kasutatavate materjalidega peab olema hea.
Kõrge dielektrilise läbitavusega paisudielektriku (''high-k dielectrics'') materjalidena on katsetatud erinevaid ühendeid nagu HfO<sub>2</sub>, ZrO<sub>2</sub>, TiO<sub>2</sub>, Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, Ta<sub>2</sub>O<sub>5,</sub> HfSiO<sub>4</sub>, ZrSiO<sub>3</sub>. Kõrge k-väärtusega dielektikkihi kasutuselevõtt aitab oluliselt vähendada elektronide tunnelleerumist kanalist paisuelektroodile ning seeläbi vähendada transistori voolutarvet. Lisaks sellele õnnestus uute materjalide tootmiseks kasutusele võetud [[Aatomkihtsadestamine|aatomkihtsadestusmeetodi ]]<nowiki/>abil vähendada defektide arvu dielektriku piirpinnal, mille tõttu vähenes laengukandjate lõksustumine. Alates 2007. aastast ja 45 nm tehnoloogiast kasutatakse Inteli
=== Kanali dopeerimine ===
<nowiki/>
|