Skaneeriv elektronmikroskoop: erinevus redaktsioonide vahel

'''Skaneeriv elektronmikroskoop''' (inglise ''scanning electron microscope'', lühendina '''SEM''') on [[mikroskoop]], mis loob kujutise uuritavat proovi [[kõrge energia]]ga elektronkiire abil skaneerides. Proovi pinda läbivad elektronid interakteeruvad [[aatom]]itega, produtseerides [[signaal]]e, mis sisaldavad informaatsiooniinformatsiooni proovi pinna [[topograafia]]st, [[koostis]]est, [[elektrijuhtivus]]est ning teistest omadustest.

Esimese SEM-i pildi saavutas [[Max Knoll]], näidates elektronide kanaliseerumist räniterase kristallis 1935. aastal.<ref name="knoll"/> 1937. aastal jätkas [[Manfred von Ardenne]] SEM-i füüsikaliste aluste ning kiire ja proovi interaktisooni uurimist.<ref name="Ardenne1"/><ref name="Ardenne2"/> Mehele anti küll Briti patent,<ref name="vonardenne"/> kuid reaalse instrumendi valmistamiseni ta ei jõudnud. Edasi arendasid SEM-i professor ''sir'' [[Charles Oatley]] ja tema üliõpilasest uuringukaaslane [[Dennis McMullan]] ning 1965. aastal toodeti tööstuslikult esimene SEM, turustajaks [[Cambridge Scientific Instrument Company]]. Instrument kandis nime "Stereoscan" ning paigaltatipaigaldati [[DuPont]]-i.

Filamente kasutatakse elektronide allikana, mida kiirendatakse kuni 50 000 kV-ses (isegi kuni 100 000 kV-ses) elektriväljas. Elektronkimp fokuseeritakse [[pool]]ide abil, see tähendab magnetväljas, väiksesse täppi, mille diameeteriksdiameetriks on umbes 0,4–10 nm. Skaneerimispoolide abil suunatakse elektronkiirt rida-realt proovil, kuni kogu uuritav piirkond "üle käidud", samaaegselt muutub ka [[detektor]]i skaneerimissamm.

TEM-is suudab kondensorsusteemkondensorsüsteem elektronkiire otse objektile, kuid SEM-i puhul on kondensorsüsteemi ja objekti vahel veel objektiivlääts, mis kontrollib sondi fokuseeringut objekti tasandil ja suurendab sondi konvergentsust.

Mittejuhtivad näidised kipuvad elektronkiirega skaneerimisel laaduma, eriti kui kasutatakse sekunaarelektronidegasekundaarelektronidega ülesvõtte režiimi,. seeSee tekitab skaneerimisvigu ning muid pildi ebatäpsusi. Sellise olukorra vältimiseks kaetakse proovid üliõhukese elektrit juhtiva materjalikihiga, kasutades madal-vaakum pinnakatmist või kõrgvaakum aurufaassadestusaurufaassadestust. Juhtivateks kattematerjalidena on tänapäeval kasutusel [[kuld]], kulla ja [[pallaadium]]i sulam, [[plaatina]], [[osmium]], [[iriidium]], [[volfram]], [[kroom]] ning [[grafiit]].

Lisaks võib kate suurendada madala aatominumbriga proovide korral signaalitugevust, sõltuvalt kõrgemate aatominumbriga materjalide sekundaarelekronidesekundaarelektronide eraldumise kasvule.